项目名称：物理学院采购射频原子发生仪项目招标 项目编号：DSZC20110056 东北师范大学资产管理处招标办公室对下列项目进行国内竞争性公开招标，现邀请符合条件的投标人密封投标。 一、招标内容 物理学院拟采购进口射频原子发生仪一台 二、投标报名截止时间和报名地点 报名截止时间：2011年11月15日下午17点前（报名截止后，未报名的厂商没有投标资格） 报名地点：东北师范大学综合楼712室 报名联系人：马略耕 报名电话：0431-85099967 13843040992 三、投标截止时间和开标时间：2011年11月17日下午14：00 四、投标地点和开标地点：东北师范大学综合楼七楼会议室 地 址：吉林省长春市人民大街5268号 电 话： 0431-85099967 0431-85605010（外） 联 系 人：徐威军 马略耕（手机：13843040992 E-mail：110143486@qq.com） 资产管理处招标办公室2011年10月28日 | ![' ']() 附件：物理学院射频原子发生仪招标邀请书.doc |
招 标 邀 请 书
一、招标人名称：东北师范大学
招标人地址：吉林省长春市人民大街5268号
联 系 人：徐威军 联系电话：0431-85605010 13894836673
高金敏 联系电话：0431-85099856
二、招标项目的名称：物理学院拟采购进口射频原子发生仪
招标项目编号：DSZC20110056
招标项目的有效实施时间：2011年11月20日之前
三、具体要求：详见附件
四、开标、评标和中标
1、开标
报名截止时间：2011年11月15日下17点前
报名地点：东北师范大学综合楼712室
报名联系人：马略耕 报名电话：0431-85099967 13843040992
报名邮箱：110143486@qq.com
开标时间：2011年11月17日14：00（即提交投标书截止时间，无端过期送寄不到者视为自动放弃参加投标）。
开标地点：东北师范大学综合楼七楼会议室
2、评标
依据中华人民共和国招标投标法组成东北师范大学评标委员会，该委员会成员将客观、公正地履行职务，遵守职业道德，对所提出的评审意见承担个人责任。该委员会成员在开标前将严格保密。依据招标人编制的招标书中确定的评标标准和方法公开公平公正的进行评标。评标委员会采取无记名投票方式直接确定中标人。
3、中标
招标人将具有法律效力的中标通知书发给中标人，招标人改变中标结果的，或者中标人放弃中标项目的，按招标总金额5 pe mil 违约金支付给对方。中标人接到中标通知书一周内和招标人按照招标文件及投标文件订立书面合同（合同一式五份同事提交电子版投标文件）。
中标人不得向他人转让中标项目，也不得将中标项目支解后分别向他人转让。
中标人按签定合同总金额5 pe mil 支付招标人评审费。
五、投标须知
1、 投标者或潜在投标者在投标书中只许提供一个投标方案，其他投标方案仅被视为建议投标方案或无效投标方案，并提供有关资质证明（如营业执照、税务登记、各种授权等）和业绩情况（要详细注明用户联系人、地址和电话）。投标者应提供法人授权函，代理商参与投标的，还应提供产品制造商针对本次招标出具的授权函。投标者必须保证产品质量及售后服务承诺。投标者应考虑给予高校一定优惠以及广告宣传作用，在价格上给予特殊的照顾（如教育特价等）。
2、 投标材料一式十五份。
3、 本标书售价300元人民币。
东北师范大学集中采购招标办公室
2011年10月28日
附件：
物理学院拟采购进口射频原子发生仪一台，具体设备和参数如下：
设备名称(Name)：射频原子发生仪(RF Atom sou ce)
1. 工作气体(Sou ce Gas): 氧气或氧化氮(O2 a d NO)
2. 安装法兰大小(Fla ge Size) : 4.5 /114mm O.D. 63 CF fla ge
3. 真空部分长度(I -Vacuum Le gth): 300 mdash 318mm
4. 仪器在真空室内的直径(I -Vacuum O.D.)：52-60mm
5. 气体原子束流在出口处的直径( Beam diamete ): gt 23 mm at sou ce
6. 水冷循环及热反射罩，包括水流量开关和报警装置，确保工作安全；(I teg al wate cooli g (RF coil a d jacket) with Passive Wate Flow Switch a d Ala m).
7. 离子偏转板及其电源(Io Deflecto Plates a d powe ): 正常工作时检测到的离子流低于 ~10pA。（o cu e t is less tha 10pA。）
8. 射频电源 (RF powe supply ):频率为13.56兆赫,功率为500~600瓦, 射频引线大于5米，优选AE公司的射频电源。(500-600W (13.56MHz， gt 5m RF )cable，AE RF powe supply is p efe ed).
9. 等离子强度监控（Plasma i te sity mo ito ）: 可以对等离子强度进行测量读取（P ovides a eadout of the plasma i te sity）
10. 射频功率匹配方式 (Tu i g): 自动匹配，平均匹配时间小于5秒。长时间连续工作时间内输出束流波动小于0.5% (Auto tu i g RF matchi g etwo k to match sou ce impeda ce Typical time to optimize match co ditio s lt 5 seco ds. Plasma fluctuatio is smalle tha 0.5% of stable i te sity.)
11. 漏率(leak ate)： lt 10-7Pa。兼容超高真空 UHV compatible
12. 烘烤温度（Bakeable）： 200 deg C
13. 气流速率（Gas flow ate）：0.1~5 sccm
14. 配备集成挡板(I teg ated shutte )
15. 气体质量流量计(Mass Flow Co t olle ): 0-10sccm fo O2。(优选MSK公司的产品。MSK is p efe ed)
16. 等离子体观察窗(Viewpo t): P ovides a di ect view of the plasma f om the ea
17. 等离子体发生腔材料（Plasma Chambe mate ial）:使用材料纯度在99.99％以上的放电管杯和孔槽板，确保达到生长半导体薄膜的高纯度、无污染物要求；Alumi a o Qua tz；
18. 保修(Wa a ty)：a o e yea wa a ty o labo a d pa ts with o cha ge.免费保修一年。
19. 交货时间(Delive y time)：2-3个月。
